窒化アルミニウム(AlN)基板
窒化アルミニウム(AlN)は、熱伝導性、放熱性、絶縁性、耐熱衝撃性に優れ、結晶成長、パワーデバイス用基板や高集積化した半導体の放熱板などで使用されています
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