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「PLAZMARKⓇ」は、照射されたプラズマの処理条件に応じて連続的に変色する、プラズマ処理効果の評価ツール(インジケータ)です。
本商品は装置内に置いてプラズマ処理するだけで、処理効果を可視化できます。
安価で簡便に工程のバラツキや面内分布を評価でき、生産性や歩留まりの向上に役立ちます。
●製品名:プラズマインジケータ PLAZMARK Arクリーニング用 NO.20(超高感度) カード型 (100枚入)
[略号:PLC0207-20]
O₂クリーニング用では検知しにくいイオン性のArプラズマを効率よく検知できるインジケータです。
ラジカル主体のプラズマやラジカル源となるガスとの混合系では、O₂クリーニング用のほうが適しています。
【用途】
・めっき前の表面改質
・ワイヤーボンディング・フリップチップボンディングなど接合面の表面改質
・部品実装後のアンダーフィル前クリーニング
・LSI、メモリ、MEMS、LED等電子デバイスの封止前のクリーニング
【仕様】
■対応ガス(プラズマ種) Arをはじめとするイオン主体のプラズマ用
(O₂クリーニング用で検知困難なAr等の希ガス)
■感度 №20(超高感度)
■使用形態(形状) カード型
■耐熱性 100℃
■構成 本体:PETフィルム/検知部:有機色材、レジン
■サイズ 本体:20×70×0.2mm/検知部:Φ11mm
【色の変化写真】
【変色性能】
※プラズマインジケータ、Plasma Indicator、PLAZMARKは㈱サクラクレパスの商標または登録商標です。
PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で登録商標を受けています。