プラズマインジケータ PLAZMARK O2クリーニング用 NO.2(中感度) シート型 (5枚入)

価格: ¥20,000 (税込 ¥21,600)
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「PLAZMARKⓇ」は、照射されたプラズマの処理条件に応じて連続的に変色する、プラズマ処理効果の評価ツール(インジケータ)です。


本商品は装置内に置いてプラズマ処理するだけで、処理効果を可視化できます。
安価で簡便に工程のバラツキや面内分布を評価でき、生産性や歩留まりの向上に役立ちます。




●製品名:プラズマインジケータ PLAZMARK® O₂クリーニング用 NO.2(中感度) シート型 (5枚入)
 [略号:PLC2130-02]

O₂をはじめ、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃などラジカル性のプラズマ検知に最適化したインジケータです。(Arプラズマでも変色する場合があります)
O₂ラジカルに反応するため、UV洗浄・UVオゾン洗浄にも適用できます。

【用途】
・めっき前の表面改質
・ワイヤーボンディング・フリップチップボンディングなど接合面の表面改質
・部品実装後のアンダーフィル前クリーニング
・LSI、メモリ、MEMS、LED等電子デバイスの封止前のクリーニング

【仕様】 

■対応ガス(プラズマ種)     O₂をはじめとするラジカル主体のプラズマ用
                (O₂、N₂、Air、CF₄、H₂、NH₃(Ar))
■感度              №2(中感度)
■使用形態(形状)        シート型
■耐熱性             100℃
■構成              本体:PETフィルム / 検知部:有機色材、レジン
■サイズ             本体:A4サイズ(210×297×0.2mm)
                 検知部:190×290mm

【色の変化写真】



【変色性能】




※プラズマインジケータ、Plasma Indicator、PLAZMARKは㈱サクラクレパスの商標または登録商標です。
 PLAZMARKは日本、ヨーロッパ共同体、米国、その他の国で登録商標を受けています。
    

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