炭化珪素基板 Labo-SiC □10×10×0.35t(mm) 10枚セット

価格: ¥36,000 (税込 ¥39,600)
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パワーLSI用、高輝度LED用など様々な実験に使用できる低価格テストグレード SiC基板です

■製品名炭化珪素基板 Labo-SiC 
■サイズ□10×10×0.35t(mm)
■数量10枚

【特徴】
テスト用基板として使いやすい、低価格/短納期のSiC(シリコンカーバイド)基板です
SiCウェハーサイズだと大きすぎる実験の場合に最適な10mm角SiCです
 ・4H-Nタイプ
 ・マイクロパイプ数 : ≤ 15 cm-2 (テストグレード)
 ・Si面:CMP仕上げ
 ・C面:光学鏡面仕上げ(ミラー)
 
※マイクロパイプとは
 …直径1~10umの大きく中空状の結晶欠陥。
  らせん転位(刃状転位における原子配列のずれから、結晶内の原子がずれた転位)の1種です
  転移方向はC軸<0001>に平行となります。
※テストグレードとは
 …製品グレードよりマイクロパイプ数の多いグレード(ダミーグレードとも)です
  製品グレード(マイクロパイプ数 ≤ 0.5 cm-2)での製作もカスタマイズにてお受けします


【ご利用ユーザー例】
 ・大学・研究機関
 ・LSI製造
 ・センサ・MEMS製造
 ・自動車製造
 ・電力
 ・LED製造
 ・製薬
 ・半導体用装置製造

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