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◆結晶成長や、光学薄膜実験に！便利な基板ホルダーです◆
４インチのシリコンウェハーにザグリ加工を施し、
実験用の基板を乗せることができるようにした、
特性の基板ホルダーです。
プラズマエッチング装置やイオンエッチング装置、
各種実験などで基板を乗せた状態で
４インチのシリコンウェハーとして扱うことができます。
結晶成長・光学薄膜などの研究者様の声をもとに
生まれたアイデア商品！ぜひ試してみませんか？
製品名：
基板ホルダー（４インチシリコンウェハーベース）
①ベースウェアハー
シリコンウェハー φ100×0.525（ｍｍ）
グレード、型などその他仕様は不問とします
②ザグリ部分
□10mmの基板を乗せることができるようになっています
ザグリ部サイズ 10.5mm×10.5mm×深さ0.3mm
例えばラボマイスターで取り扱いの下記基板がフィットします
●合成石英基板 Labo-USQ □10×0.3(mm)
●サファイア基板 Labo-Sapphire □10×10×0.3ｔ(mm）
●炭化珪素基板 Labo-SiC □10×10×0.35ｔ（mm）
など
