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▼製品名
実験用シリコンウェハー 4インチ 25枚セット
▼サイズ
4インチ(直径100.0±0.5mm)×厚み520±25㎛
※オリフラ32.5±2.5mm
▼使用用途例
・半導体デバイスの開発
・マイクロエレクトロニクス実験
・ナノテクノロジー研究
・薄膜研究
・MEMS研究
▼使用プロセス例
・フォトリソグラフィー
・イオン注入、エッチング
・微細加工
・化学気相成長(CVD)、物理気相成長(PVD)
・スパッタリング
・エピタキシャル
▼仕様